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FalconScan-20精密振镜

全数字光栅反馈振镜
21Bits超高的位置分辨率
超高精度、低温漂
可根据工艺需求定制调校
服务热线: 400-900-8118
咨询邮箱: market@bjjcz.com
FalconScan-20精密振镜
产品信息
典型应用

 

主要配置

主要配置

参数

型号

FalconScan-20

入射光斑

20mm

跟随误差

0.34ms

重复精度

<1μrad

零位漂移

<15μrad/K无水冷 / <10μrad/K有水冷
增益漂移

<8ppm/K

8小时漂移

<0.04mrad

1%全行程

0.7ms

10%全行程

2.2ms

加工速度

1.5m/s 

定位速度

 6m/s

小字符速度

High quality 230cps / Good quality 340cps
扫描角度

±0.35rad

增添误差

<5mrad

零位误差

<5mrad

定位噪声RMS

<1μrad
非线性度

<0.1% 

供电电源

±15V DC,≥5A

通讯接口

XY2-100 Enhanced;JCZ24-100

工作温度

25±10℃

冷却方式

水冷

*注: 典型参数,可以根据工艺需求作定制调校 

典型应用

FalconScan-20精密振镜可用于金属3D打印、半导体、精密微孔/切割、光伏加工、航空航天等。

*注: 部分图源网络,如有侵权,请告知删除

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