FalconScan-20精密振镜
21Bits超高的位置分辨率
超高精度、低温漂
可根据工艺需求定制调校
所属分类
高精密振镜
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market@bjjcz.com
FalconScan-20精密振镜
产品信息
典型应用
主要配置
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主要配置 |
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参数 |
型号 |
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FalconScan-20 |
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入射光斑 |
20mm |
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跟随误差 |
0.34ms |
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重复精度 |
<1μrad |
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零位漂移 |
<15μrad/K无水冷 / <10μrad/K有水冷 | ||
| 增益漂移 |
<8ppm/K |
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| 8小时漂移 |
<0.04mrad |
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| 1%全行程 |
0.7ms |
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| 10%全行程 |
2.2ms |
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加工速度 |
1.5m/s | ||
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定位速度 |
6m/s | ||
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小字符速度 |
High quality 230cps / Good quality 340cps | ||
| 扫描角度 |
±0.35rad |
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| 增添误差 |
<5mrad |
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| 零位误差 |
<5mrad |
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定位噪声RMS |
<1μrad | ||
| 非线性度 |
<0.1% |
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供电电源 |
±15V DC，≥5A | ||
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通讯接口 |
XY2-100 Enhanced；JCZ24-100 |
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| 工作温度 |
25±10℃ |
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冷却方式 |
水冷 | ||
*注: 典型参数，可以根据工艺需求作定制调校
典型应用
FalconScan-20精密振镜可用于金属3D打印、半导体、精密微孔/切割、光伏加工、航空航天等。
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